down1.gif (1272 bytes)up1.gif (1275 bytes)

Rugosidade

    Até recentemente, a indústria não tinha dado muita atenção à microrugosidade. Atualmente, o seu controle tornou-se importante devido ao necessário incremento da qualidade dos materiais. Em 1990, com a aparição do AFM, começaram as medições de nanorugosidade em silício. Uma das experiências mais correntes hoje em dia é medir a variação da rugosidade com a temperatura1.

    Os nanoscópios já tem um software apropriado para estas medições. Ele funciona da seguinte maneira: feita a imagem da superfície a ser medida, define-se uma média aritmética Z como a soma de todos os valores da altura nessa direção, dividida pelo número N de pontos utilizados no perfil:

<Z> = (1/N) å Zi

onde a soma é de i=0 até N. O parâmetro mais freqüentemente utilizado para a rugosidade é o Ra: média aritmética dos desvios em altura do valor médio acima. Este valor é dado por

Ra = (1/N)å | Zi - <Z>| ,

onde a soma é de i=1 até N.

    Considerando a estatística de alturas máximas dos picos, definem-se os parâmetros Rp e Rt. Rp é a altura máxima do perfil acima da linha média e Rt é a altura máxima do pico ao vale, no perfil.

Rp = Zmax - <Z> e Rt = Zmax - Zmin.

O perfil como um todo, pode ser melhor representado pelos valores médios das grandezas anteriores:

 

<Rp> = (1/Y) å Rpi  ;   <Rt> = (1/Y) å Rti,

sendo as somas de i=1 até Y. O algoritmo do software para as medidas de perfis de superfícies deste tipo, utiliza o valor Y=20, que leva em conta os 20 pontos mais altos do perfil.


1. R.Prioli, S.I.Zanette, A.O.Caride, M.Lacerda, F.L.Freire. Diamond and Related Materials, 8 (6), p. 933 (1999).