Status dos Equipamentos
Legenda:
operacional
não operacional
manutenção
desenvolvimento
MET
MEV
NANOLITO
Sala limpa
Litografia ótica (microlitografia)
Wire bonder (solda de micro-contatos)
Spinner & hot plate (aplicação de resit)
Sistema de deposição de filmes
Preparação de amostras MEV e MET